Home | << 1 >> |
Record | |||||
---|---|---|---|---|---|
Author | Проходцов, А. И.; Голиков, А. Д.; Ан, П. П.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. | ||||
Title | Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния | Type | Conference Article | ||
Year | 2019 | Publication | Proc. IWQO | Abbreviated Journal | Proc. IWQO |
Volume | Issue | Pages | 201-203 | ||
Keywords | integrated optics, silicon nitride, focusing grating coupler | ||||
Abstract | В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния. | ||||
Address | |||||
Corporate Author | Thesis | ||||
Publisher | Place of Publication | Editor | |||
Language | Russian | Summary Language | Original Title | ||
Series Editor | Series Title | Abbreviated Series Title | |||
Series Volume | Series Issue | Edition | |||
ISSN | ISBN | Medium | |||
Area | Expedition | Conference | |||
Notes | Duplicated as 1188 | Approved | no | ||
Call Number | Serial | 1282 | |||
Permanent link to this record |