Home | << 1 >> |
Author | Title | Year | Publication | DOI |
---|---|---|---|---|
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. | Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния | 2019 | Proc. IWQO | |
Елманова, А.; Елманов, И.; Комракова, С.; Голиков, А.; Джавадзадэ, Д.; Воробьёв, В.; Большедворский, С.; Сошенко, В.; Акимов, А.; Ковалюк, В.; Гольцман, Г. | Способ интеграции наноалмазов с нанофотонными устройствами из нитрида кремния | 2019 | Proc. IWQO |