Search & Display Options
Search within Results:
Field:
author
title
year
keywords
abstract
type
publication
abbrev_journal
volume
issue
pages
thesis
publisher
place
editor
series_title
language
area
notes
call_number
serial
contains:
...
Exclude matches
Display Options:
Field:
all fields
keywords & abstract
additional fields
records per page
Select All
Deselect All
<<
1
>>
List View
|
Citations
|
Details
Record
Links
Author
Проходцов, А. И.
;
Голиков, А. Д.
;
Ан, П. П.
;
Ковалюк, В. В.
;
Гольцман, Г. Н.
Title
Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния
Type
Conference Article
Year
2019
Publication
Proc. IWQO
Abbreviated Journal
Proc. IWQO
Volume
Issue
Pages
201-203
Keywords
integrated optics, silicon nitride, focusing grating coupler
Abstract
В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния.
Address
Corporate Author
Thesis
Publisher
Place of Publication
Editor
Language
Russian
Summary Language
Original Title
Series Editor
Series Title
Abbreviated Series Title
Series Volume
Series Issue
Edition
ISSN
ISBN
Medium
Area
Expedition
Conference
Notes
Duplicated as 1188
Approved
no
Call Number
Serial
1282
Permanent link to this record
Select All
Deselect All
<<
1
>>
List View
|
Citations
|
Details