toggle visibility Search & Display Options

Select All    Deselect All
 | 
Citations
 | 
   print
Елманов, И. А., Елманова, А. В., Голиков, А. Д., Комракова, С. А., Каурова, Н. С., Ковалюк, В. В., et al. (2019). Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния. In Proc. IWQO (pp. 306–308).
toggle visibility
Select All    Deselect All
 | 
Citations
 | 
   print