List View
 |   | 
   web
Author Title Year Publication Volume Pages (up)
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния 2019 Proc. IWQO 306-308