Home | << 1 >> |
Author | Title | Year | Publication | Volume | Pages |
---|---|---|---|---|---|
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. | Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния | 2019 | Proc. IWQO | 306-308 |