PT Unknown
AU Проходцов, ��
   Голиков, ��
   Ан, ��
   Ковалюк, ��
   Гольцман, ��
TI Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния
SE Proc. IWQO
PY 2019
BP 201
EP 203
LA Russian
DE integrated optics; silicon nitride; focusing grating coupler
AB В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния.
ER