Bibliography database of Radiophysics Laboratory (RpLab)Displays records where serial is equal to 12822024-03-28T05:26:40-05:00Bibliography database of Radiophysics Laboratory (RpLab)FEEDBACK_EMAIL_ADDRESShttps://db.rplab.ru/refbase/Web Reference Database (http://refbase.sourceforge.net)https://db.rplab.ru/refbase/img/favicon.icohttps://db.rplab.ru/refbase/img/logo.pnghttps://db.rplab.ru/refbase/show.php?where=serial%20%3D%201282&exportType=xml&submit=Export&exportFormat=Atom%20XML111https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1282
Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния
Проходцов, А. И., Голиков, А. Д., Ан, П. П., Ковалюк, В. В., & Гольцман, Г. Н. (2019). Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния. In Proc. IWQO (pp. 201–203).
В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния.
Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремнияПроходцов, А.И.Голиков, А.Д.Ан, П.П.Ковалюк, В.В.Гольцман, Г.Н.openurl:?ctx_ver=Z39.88-2004&rfr_id=info%3Asid%2Fhttps%3A%2F%2Fdb.rplab.ru%2Frefbase%2F&genre=proceeding&title=%D0%92%D0%BB%D0%B8%D1%8F%D0%BD%D0%B8%D0%B5%20%D0%BF%D0%BE%D0%BA%D1%80%D1%8B%D1%82%D0%B8%D1%8F%20%D0%B8%D0%B7%20%D0%BE%D0%BA%D1%81%D0%B8%D0%B4%D0%B0%20%D0%BA%D1%80%D0%B5%D0%BC%D0%BD%D0%B8%D1%8F%20%D0%BD%D0%B0%20%D1%8D%D1%84%D1%84%D0%B5%D0%BA%D1%82%D0%B8%D0%B2%D0%BD%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%8C%20%D1%84%D0%BE%D0%BA%D1%83%D1%81%D0%B8%D1%80%D1%83%D1%8E%D1%89%D0%B5%D0%B3%D0%BE%20%D1%80%D0%B5%D1%88%D0%B5%D1%82%D0%BE%D1%87%D0%BD%D0%BE%D0%B3%D0%BE%20%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D1%82%D0%B0%20%D1%81%D0%B2%D1%8F%D0%B7%D0%B8%20%D0%B8%D0%B7%20%D0%BD%D0%B8%D1%82%D1%80%D0%B8%D0%B4%D0%B0%20%D0%BA%D1%80%D0%B5%D0%BC%D0%BD%D0%B8%D1%8F&stitle=Proc.%20IWQO&date=2019&spage=201&epage=203&aulast=%D0%9F%D1%80%D0%BE%D1%85%D0%BE%D0%B4%D1%86%D0%BE%D0%B2&aufirst=%D0%90.%20%D0%98.&au=%D0%93%D0%BE%D0%BB%D0%B8%D0%BA%D0%BE%D0%B2%2C%20%D0%90.%20%D0%94.&au=%D0%90%D0%BD%2C%20%D0%9F.%20%D0%9F.&au=%D0%9A%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BB%D1%8E%D0%BA%2C%20%D0%92.%20%D0%92.&au=%D0%93%D0%BE%D0%BB%D1%8C%D1%86%D0%BC%D0%B0%D0%BD%2C%20%D0%93.%20%D0%9D.&id=http%3A%2F%2Fiwqo.su%2Fen%2Fpublications-iwqo-2019&sid=refbase%3ARpLabcitekey:_etal2019Проходцов, А. И., Голиков, А. Д., Ан, П. П., Ковалюк, В. В., & Гольцман, Г. Н. (2019). Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния. In Proc. IWQO (pp. 201-203).2019ConferencePapertextintegrated optics, silicon nitride, focusing grating couplerurl:http://iwqo.su/en/publications-iwqo-2019RussianProc. IWQO2019201203