%0 Conference Proceedings %T Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния %A Проходцов, А И %A Голиков, А Д %A Ан, П П %A Ковалюк, В В %A Гольцман, Г Н %S Proc. IWQO %D 2019 %G Russian %F _etal2019 %O Duplicated as 1188 %O exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1282), last updated on Sat, 08 May 2021 23:00:10 -0500 %X В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния. %K integrated optics %K silicon nitride %K focusing grating coupler %U http://iwqo.su/en/publications-iwqo-2019 %P 201-203