TY  - CONF
AU  - Проходцов, А И
AU  - Голиков, А Д
AU  - Ан, П П
AU  - Ковалюк, В В
AU  - Гольцман, Г Н
PY  - 2019
DA  - 2019//
TI  - Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния
T2  - Proc. IWQO
BT  - Proc. IWQO
SP  - 201
EP  - 203
KW  - integrated optics
KW  - silicon nitride
KW  - focusing grating coupler
AB  - В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния.
UR  - http://iwqo.su/en/publications-iwqo-2019
LA  - Russian
N1  - Duplicated as 1188
ID  - _etal2019
ER  -