TY  - JOUR
AU  - Банная, В Ф
AU  - Веселова, Л И
AU  - Гершензон, Е М
AU  - Гусинский, Э Н
AU  - Литвак-Горская, Л Б
PY  - 1990
DA  - 1990//
TI  - Оценка точности метода определения раздельной концентрации примесей из измерений постоянной Холла
T2  - Физика и техника полупроводников
JO  - Физика и техника полупроводников
SP  - 2145
EP  - 2150
VL  - 24
IS  - 12
KW  - Hall constant
KW  - concentration of impurities
KW  - p-Si
AB  - На примере p-Si⟨B,\,Ga⟩ с различной степенью компенсации проведена сравнительная оценка точности определения раздельной концентрации примесей по температурной зависимости концентрации дырок p(T) в случае одной и двух легирующих примесей с энергиями ионизации, различающимися менее чем в 2 раза. Исследована функция среднеквадратичного отклонения в пространстве параметров D(Nк, N2) (Nк, N1 и N2 — концентрации компенсирующих примесей бора и галлия соответственно, N2≫N1) в предположении, что N2, энергии B и Ga известны. Показано, что в случае двух легирующих примесей D(Nк, N1) в окрестностях минимума имеет «овражный» рельеф и при некоторых соотношениях между Nк и N1 разброс искомых величин превышает порядок, причем увеличение точности измерений p(T) существенного улучшения в вычислении параметров не дает. При одной легирующей примеси точность вычисления параметров высокая.
UR  - http://mi.mathnet.ru/phts4112
LA  - Russian
N1  - exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1754), last updated on Mon, 31 May 2021 14:53:01 -0500
ID  - _etal1990
ER  -