@InProceedings{+2019,
author="Золотов, Ф И
and Смирнов, К В",
title="Особенности осаждения разупорядоченных сверхтонких плёнок нитрида ванадия",
booktitle="Межвузовская научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов им. Е. В. Арменского",
year="2019",
publisher="МИЭМ НИУ ВШЭ",
pages="204--205",
optkeywords="VN films",
abstract="В работе изучены особенности роста сверхтонких плёнок нитрида ванадия толщиной {\textasciitilde}10 нм. Обнаружено, что при изменении температуры подложки и общего давления газов в процессе осаждения плёнок меняется значение их поверхностного сопротивления вблизи перехода к сверхпроводящему состоянию.",
optnote="exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1805), last updated on Sat, 03 Jul 2021 21:37:07 -0500",
opturl="https://elibrary.ru/item.asp?id=37414107",
language="Russian"
}