%0 Conference Proceedings
%T Особенности осаждения разупорядоченных сверхтонких плёнок нитрида ванадия
%A Золотов, Ф И
%A Смирнов, К В
%S Межвузовская научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов им. Е. В. Арменского
%D 2019
%I МИЭМ НИУ ВШЭ
%G Russian
%F +2019
%O exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1805), last updated on Sat, 03 Jul 2021 21:37:07 -0500
%X В работе изучены особенности роста сверхтонких плёнок нитрида ванадия толщиной ~10 нм. Обнаружено, что при изменении температуры подложки и общего давления газов в процессе осаждения плёнок меняется значение их поверхностного сопротивления вблизи перехода к сверхпроводящему состоянию.
%K VN films
%U https://elibrary.ru/item.asp?id=37414107
%P 204-205