PT Unknown
AU Золотов, ��
   Смирнов, ��
TI Особенности осаждения разупорядоченных сверхтонких плёнок нитрида ванадия
SE Межвузовская научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов им. Е. В. Арменского
PY 2019
BP 204
EP 205
LA Russian
DE VN films
AB В работе изучены особенности роста сверхтонких плёнок нитрида ванадия толщиной ~10 нм. Обнаружено, что при изменении температуры подложки и общего давления газов в процессе осаждения плёнок меняется значение их поверхностного сопротивления вблизи перехода к сверхпроводящему состоянию.
ER