TY  - CONF
AU  - Золотов, Ф И
AU  - Смирнов, К В
PY  - 2019
DA  - 2019//
TI  - Особенности осаждения разупорядоченных сверхтонких плёнок нитрида ванадия
BT  - Межвузовская научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов им. Е. В. Арменского
SP  - 204
EP  - 205
PB  - МИЭМ НИУ ВШЭ
KW  - VN films
AB  - В работе изучены особенности роста сверхтонких плёнок нитрида ванадия толщиной ~10 нм. Обнаружено, что при изменении температуры подложки и общего давления газов в процессе осаждения плёнок меняется значение их поверхностного сопротивления вблизи перехода к сверхпроводящему состоянию.
UR  - https://elibrary.ru/item.asp?id=37414107
LA  - Russian
N1  - exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1805), last updated on Sat, 03 Jul 2021 21:37:07 -0500
ID  - +2019
ER  -