PT Unknown AU Селиверстов, Финкель, Рябчун, Воронов, Каурова, Селезнев, Смирнов, Вахтомин, Пентин, Гольцман, TI Терагерцевый сверхпроводниковый детектор с аттоджоулевым энергетическим разрешением и постоянной времени 25 пс SE Труды XVIII международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника» PY 2014 BP 91 EP 92 VL 1 LA Russian DE NbN HEB AB Представлены результаты измерения энергетического разрешения терагерцевого сверхпроводникового NbN-детектора на эффектеэлектронного разогрева, работающего при температуре около 10 К. Использование инновационной in situ технологии производства привело к существенному улучшению чувствительности детектора. Увеличение быстродействия детектора было достигнуто за счет реализации дополнительного диффузионного канала охла-ждения электронной подсистемы. Измеренное значение эквивалентной мощности шума на частоте 2.5 ТГц составило 2.0×10-13Вт•Гц-0.5, постоянной времени 25 пс. Соответствующее расчетное значение энергетического разрешения составило 2.5 аДж. ER