%0 Conference Proceedings %T Сверхпроводниковый однофотонный детектор на основе аморфных пленок MoSi %A Корнеева, Ю П %A Михайлов, М М %A Манова, Н Н %A Дивочий, А А %A Корнеев, А А %A Вахтомин, Ю Б %A Першин, Ю П %A Гольцман, Г Н %S Труды XVIII международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника» %D 2014 %V 1 %G Russian %F _etal2014 %O exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=1836), last updated on Tue, 06 Jul 2021 20:19:00 -0500 %X Нами были изготовлены и исследованы однофотонные детекторы на основе сверхпроводящих пленок Mo x Si 1-x двух различных стехиометрий: Mo 3 Si и Mo 4 Si. При температуре 1.7 К лучшие детекторы площадью 7 мкм*7 мкм на основе этих пленок продемонстрировали системную квантовую эффективность 18% при скорости темнового счета 10 с -1 на длине волны 1.2 мкм с использованием неполяризованного источника, длительность импульса - 6 нс, джиттер - 120 пс. %K MoSi SSPD %U https://nanosymp.ru/ru/archive %P 53-54