PT Unknown AU Корнеева, Михайлов, Манова, Дивочий, Корнеев, Вахтомин, Першин, Гольцман, TI Сверхпроводниковый однофотонный детектор на основе аморфных пленок MoSi SE Труды XVIII международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника» PY 2014 BP 53 EP 54 VL 1 LA Russian DE MoSi SSPD AB Нами были изготовлены и исследованы однофотонные детекторы на основе сверхпроводящих пленок Mo x Si 1-x двух различных стехиометрий: Mo 3 Si и Mo 4 Si. При температуре 1.7 К лучшие детекторы площадью 7 мкм*7 мкм на основе этих пленок продемонстрировали системную квантовую эффективность 18% при скорости темнового счета 10 с -1 на длине волны 1.2 мкм с использованием неполяризованного источника, длительность импульса - 6 нс, джиттер - 120 пс. ER