%0 Journal Article %T Сверхпроводящий однофотонный детектор на основе ультратонкой пленки NbN %A Корнеев, А А %A Минаева, О %A Рубцова, И %A Милостная, И %A Чулкова, Г %A Воронов, Б %A Смирнов, К %A Селезнёв, В %A Гольцман, Г %A Pearlman, A. %A Slysz, W. %A Cross, A. %A Alvarez, P. %A Верёвкин, А %A Sobolewski, R. %J Квантовая электроника %D 2005 %V 35 %N 8 %G Russian %F _etal2005 %O Duplicated as 383 (Superconducting single-photon ultrathin NbN film detector) %O exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=382), last updated on Tue, 06 Jul 2021 13:00:46 -0500 %X Представлены результаты исследований сверхпроводящих однофотонных детекторов, изготовленных из ультратонкой пленки NbN. Развитие технологического процесса изготовления детекторов, а также снижение рабочей температуры до 2 К позволили существенно увеличить квантовую эффективность: для видимого света (λ = 0.56 мкм) она составила 30%–40%, т.е. достигла предела, определяемого коэффициентом поглощения пленки. С ростом длины волны квантовая эффективность экспоненциально падает, составляя ~20% на λ=1.55 мкм и ~0.02% на λ = 5 мкм. При скорости темнового счета ~10-4s-1 экспериментально измеренная эквивалентная мощность шума составила 1.5 × 10-20 Вт/Гц-1/2; в дальнейшем она может быть уменьшена до рекордно низкого значения 5 × 10-21 Вт/Гц-1/2. Временное разрешение детектора равно 30 пс. %K NbN SSPD %K SNSPD %U http://www.mathnet.ru/php/archive.phtml?wshow=paper&jrnid=qe&paperid=9152 %P 698-700