%0 Journal Article
%T Малошумящий широкополосный терагерцовый смеситель на эффекте электронного разогрева в плёнке NbN
%A Рябчун, С А
%A Третьяков, И В
%A Пентин, И В
%A Каурова, Н С
%A Селезнев, В А
%A Воронов, Б М
%A Финкель, М И
%A Масленников, С Н
%A Гольцман, Г Н
%J Известия высших учебных заведений. Радиофизика
%D 2009
%V 52
%N 8
%F _etal2009
%O exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=600), last updated on Fri, 29 Jan 2010 09:33:41 -0600
%X Разработан и исследован смеситель на горячих электронах, изготовленный из двуслойной плёнки NbN-Au, осаждённой на кремневую подложку in situ. Двухполосная шумовая температура устройства составила 750 К на частоте 2.5 ТГц. Измерения эффективности преобразования для смесителя длиной 0.112 мкм вблизи температуры сверхпроводящего перехода показали полосу промежуточных частот около 6.5 ГГц. Эти результаты являются рекордными и были получены за счёт улучшения контактов между чувствительным элементом и спиральной антенной при замене технологического маршрута с нанесением слоёв NbN и Au в отдельных процессах на технологический процесс, в котором данные слои наносятся in situ без нарушения вакуума.
%K HEB mixer
%K in-situ contacts
%K noise temperature
%K conversion gain bandwidth
%K diffusion cooling channel
%P 641-648