TY - JOUR AU - Рябчун, С А AU - Третьяков, И В AU - Пентин, И В AU - Каурова, Н С AU - Селезнев, В А AU - Воронов, Б М AU - Финкель, М И AU - Масленников, С Н AU - Гольцман, Г Н PY - 2009 DA - 2009// TI - Малошумящий широкополосный терагерцовый смеситель на эффекте электронного разогрева в плёнке NbN JO - Известия высших учебных заведений. Радиофизика SP - 641 EP - 648 VL - 52 IS - 8 KW - HEB mixer KW - in-situ contacts KW - noise temperature KW - conversion gain bandwidth KW - diffusion cooling channel AB - Разработан и исследован смеситель на горячих электронах, изготовленный из двуслойной плёнки NbN-Au, осаждённой на кремневую подложку in situ. Двухполосная шумовая температура устройства составила 750 К на частоте 2.5 ТГц. Измерения эффективности преобразования для смесителя длиной 0.112 мкм вблизи температуры сверхпроводящего перехода показали полосу промежуточных частот около 6.5 ГГц. Эти результаты являются рекордными и были получены за счёт улучшения контактов между чувствительным элементом и спиральной антенной при замене технологического маршрута с нанесением слоёв NbN и Au в отдельных процессах на технологический процесс, в котором данные слои наносятся in situ без нарушения вакуума. N1 - exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=600), last updated on Fri, 29 Jan 2010 09:33:41 -0600 ID - _etal2009 ER -