%0 Journal Article %T Сверхпроводниковый однофотонный детектор для среднего инфракрасного диапазона на основе узких параллельных полосок %A Флоря, И Н %A Корнеева, Ю П %A Корнеев, А А %A Гольцман, Г Н %J Труды Московского физико-технического института %D 2011 %V 3 %N 2 %F _etal2011 %O exported from refbase (https://db.rplab.ru/refbase/show.php?record=706), last updated on Mon, 19 Dec 2011 20:17:14 -0600 %X Мы рассматриваем ультрабыстрый сверхпроводниковый однофотонный детектор (SSPD). SSPD представляет собой тонкопленочную наноструктуру — очень узкую и длинную полоску сверхпроводника, изогнутую в виде меандра, изготовленную из пленки NbN толщиной 4 нм, нанесенной на сапфировую подложку. SSPD хорошо сопрягается с оптоволокном и легко может быть интегрирован в полностью готовую для работы приемную систему. В стремлении продвинуться в средний ИК диапозон нам удалось разработать SSPD в виде параллельно соединенных полосок с шириной полоски всего 50 нм и сохранить при этом сверхпроводящие свойства. Эти детекторы показывают более чем на порядок большую чувствительность на длине волны 3;5 мкм, чем SSPD в виде меандра. Полученные результаты открывают путь к эффективным детекторам среднего ИК-диапазона, обладающим скоростью счета свыше 1 ГГц. %K SSPD %P 14-17