| Records |
| Author |
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния |
Type |
Conference Article |
| Year |
2019 |
Publication |
Proc. IWQO |
Abbreviated Journal |
Proc. IWQO |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
306-308 |
Keywords  |
Si3N4, e-beam lithography, EBL |
| Abstract |
В работе были измерены толщины резистов ZEP 520A и ma-N 2400 для электронно-лучевой литографии, неразрушающим способом, а также подобран рецепт, обеспечивающий высокое отношение скорости травления нитрида кремния по сравнению с резистом. Работа имеет практическое значение для электронной литографии интегрально-оптических устройств и устройств нанофотоники на основе нитрида кремния. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
Duplicated as 1189 |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1284 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Корнеева, Ю. П.; Флоря, И. Н.; Корнеев, А. А.; Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Cверхпроводящий однофотонный детектор для дальнего ИК диапазона длин волн |
Type |
Conference Article |
| Year |
2010 |
Publication |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
Abbreviated Journal |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
46-47 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
Мы представляем быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор (SSPD) для дальнего инфракрасного диапазона на основе ультратонкой монокристаллической пленки NbN толщиной 3 нм, состоящий из параллельных полосок. QE на длине волны 1,5.μм и 1,3 μм для предложенного SSPD практически одинаковы. SSPD показывает отклик длительностью 200 пс, что открывает путь к детекторам, обладающим скоростью счета свыше 1 ГГц. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
978-5-7262-1227-2 |
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
УДК 533.14(06)+004.056(06) Фотоника и информационная оптика |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1144 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Манова, Н.Н.; Корнеева, Ю. П.; Корнеев, А. А., Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Cверхпроводящий однофотонный детектор, интегрированный с оптическим резонатором |
Type |
Conference Article |
| Year |
2010 |
Publication |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
Abbreviated Journal |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
92-93 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
|
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
978-5-7262-1227-2 |
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
УДК 533.14(06)+004.056(06) Фотоника и информационная оптика |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1143 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Елезов, М. С.; Тархов, М. А.; Дивочий, А. В.; Вахтомин, Ю. Б.; Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Система регистрации одиночных фотонов в видимом и ближнем инфракрасном диапазонах |
Type |
Conference Article |
| Year |
2010 |
Publication |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
Abbreviated Journal |
|
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
94-95 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
|
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
978-5-7262-1227-2 |
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
|
Approved |
no |
| Call Number |
RPLAB @ sasha @ елезов2010система |
Serial |
1032 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Симонов, Н. О.; Флоря, И. Н.; Корнеева, Ю. П.; Корнеев, А. А.; Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Однофотонный отклик в тонких сверхпроводящих MoNx пленках |
Type |
Conference Article |
| Year |
2018 |
Publication |
Сборн. науч. труд. VII международн. конф. по фотонике и информац. опт. |
Abbreviated Journal |
Сборн. науч. труд. VII международн. конф. по фотонике и информац. опт. |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
408-409 |
| Keywords |
SSPD, SNSPD |
| Abstract |
Продемонстрирован однофотонный отклик, при токе близком к критическому, в MoNx сверхпроводящих полосках шириной 70-104 нм. MoNx детекторы, имеющие коэффициент диффузии D≈0.32 см2/с и время электрон-фононного взаимодействия ηe-ph≈300 пс, достигают квантовой эффективности QE≈20% на длине волны λ=1550 нм. Возможность реализации однофотонного детектора в данном материале, подтверждает существующую теорию вихревого механизма возникновения фотоотклика в узких сверхпроводящих полосках. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
978-5-7262-2445-9 |
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
УДК 535(06)+004(06) |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1251 |
| Permanent link to this record |
