Bibliography database of Radiophysics Laboratory (RpLab) -- Query Results

	Bibliography database of Radiophysics Laboratory (RpLab) Home \| Show All \| Simple Search \| Advanced Search	Login Quick Search: Field: contains: ...
	1-1 of 1 record found matching your query:

Search & Display Options

Select All Deselect All

<< 1 >>

|

|

Details

	Record						Links
	Author	Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н.
	Title	Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния			Type	Conference Article
	Year	2019	Publication	Proc. IWQO	Abbreviated Journal	Proc. IWQO
	Volume		Issue		Pages	306-308
	Keywords	Si3N4, e-beam lithography, EBL
	Abstract	В работе были измерены толщины резистов ZEP 520A и ma-N 2400 для электронно-лучевой литографии, неразрушающим способом, а также подобран рецепт, обеспечивающий высокое отношение скорости травления нитрида кремния по сравнению с резистом. Работа имеет практическое значение для электронной литографии интегрально-оптических устройств и устройств нанофотоники на основе нитрида кремния.
	Address
	Corporate Author				Thesis
	Publisher		Place of Publication		Editor
	Language		Summary Language		Original Title
	Series Editor		Series Title		Abbreviated Series Title
	Series Volume		Series Issue		Edition
	ISSN		ISBN		Medium
	Area		Expedition		Conference
	Notes	Duplicated as 1189			Approved	no
	Call Number				Serial	1284
Permanent link to this record

Select All Deselect All

<< 1 >>

|

|

Details

All Found Records Selected Records:

Save Citations: Format:

Export Records: Format:

CQL Search | Library Search | Show Record | Extract Citations