| Records |
| Author |
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния |
Type |
Conference Article |
| Year |
2019 |
Publication |
Proc. IWQO |
Abbreviated Journal |
Proc. IWQO |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
306-308 |
Keywords  |
Si3N4, e-beam lithography, EBL |
| Abstract |
В работе были измерены толщины резистов ZEP 520A и ma-N 2400 для электронно-лучевой литографии, неразрушающим способом, а также подобран рецепт, обеспечивающий высокое отношение скорости травления нитрида кремния по сравнению с резистом. Работа имеет практическое значение для электронной литографии интегрально-оптических устройств и устройств нанофотоники на основе нитрида кремния. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
Duplicated as 1189 |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1284 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Манова, Н.Н.; Корнеева, Ю.П.; Корнеев, А.А.; Слыш, В.; Воронов, Б.М.; Гольцман, Г.Н. |
| Title |
Сверхпроводниковый NbN однофотонный детектор, интегрированный с четвертьволновым резонатором |
Type |
Journal Article |
| Year |
2011 |
Publication |
Письма в Журнал технической физики |
Abbreviated Journal |
ПЖТФ |
| Volume |
37 |
Issue |
10 |
Pages |
7 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
Исследована спектральная зависимость квантовой эффективности сверхпроводниковых NbN однофотонных детекторов, интегрированных с оптическими четвертьволновыми резонаторами с использованием диэлектриков Si3N4, SiO2, SiO. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
|
Approved |
no |
| Call Number |
RPLAB @ gujma @ |
Serial |
637 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Флоря, И.Н.; Корнеева, Ю.П.; Корнеев, А.А.; Гольцман, Г.Н. |
| Title |
Сверхпроводниковый однофотонный детектор для среднего инфракрасного диапазона на основе узких параллельных полосок |
Type |
Journal Article |
| Year |
2011 |
Publication |
Труды Московского физико-технического института |
Abbreviated Journal |
Труды МФТИ |
| Volume |
3 |
Issue |
2 |
Pages |
14-17 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
Мы рассматриваем ультрабыстрый сверхпроводниковый однофотонный детектор (SSPD). SSPD представляет собой тонкопленочную наноструктуру — очень узкую и длинную полоску сверхпроводника, изогнутую в виде меандра, изготовленную из пленки NbN толщиной 4 нм, нанесенной на сапфировую подложку. SSPD хорошо сопрягается с оптоволокном и легко может быть интегрирован в полностью готовую для работы приемную систему. В стремлении продвинуться в средний ИК диапозон нам удалось разработать SSPD в виде параллельно соединенных полосок с шириной полоски всего 50 нм и сохранить при этом сверхпроводящие свойства. Эти детекторы показывают более чем на порядок большую чувствительность на длине волны 3;5 мкм, чем SSPD в виде меандра. Полученные результаты открывают путь к эффективным детекторам среднего ИК-диапазона, обладающим скоростью счета свыше 1 ГГц. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
|
Approved |
no |
| Call Number |
RPLAB @ gujma @ |
Serial |
706 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Корнеева, Ю. П.; Флоря, И. Н.; Корнеев, А. А.; Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Cверхпроводящий однофотонный детектор для дальнего ИК диапазона длин волн |
Type |
Conference Article |
| Year |
2010 |
Publication |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
Abbreviated Journal |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
46-47 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
Мы представляем быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор (SSPD) для дальнего инфракрасного диапазона на основе ультратонкой монокристаллической пленки NbN толщиной 3 нм, состоящий из параллельных полосок. QE на длине волны 1,5.μм и 1,3 μм для предложенного SSPD практически одинаковы. SSPD показывает отклик длительностью 200 пс, что открывает путь к детекторам, обладающим скоростью счета свыше 1 ГГц. |
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
978-5-7262-1227-2 |
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
УДК 533.14(06)+004.056(06) Фотоника и информационная оптика |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1144 |
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
| Author |
Манова, Н.Н.; Корнеева, Ю. П.; Корнеев, А. А., Гольцман, Г. Н. |
| Title |
Cверхпроводящий однофотонный детектор, интегрированный с оптическим резонатором |
Type |
Conference Article |
| Year |
2010 |
Publication |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
Abbreviated Journal |
Науч. сессия НИЯУ МИФИ |
| Volume |
|
Issue |
|
Pages |
92-93 |
| Keywords |
SSPD |
| Abstract |
|
| Address |
|
| Corporate Author |
|
Thesis |
|
| Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
| Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
| Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
| Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
| ISSN |
|
ISBN |
978-5-7262-1227-2 |
Medium |
|
| Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
| Notes |
УДК 533.14(06)+004.056(06) Фотоника и информационная оптика |
Approved |
no |
| Call Number |
|
Serial |
1143 |
| Permanent link to this record |
