Елманов, И. А., Елманова, А. В., Голиков, А. Д., Комракова, С. А., Каурова, Н. С., Ковалюк, В. В., et al. (2019). Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния. In Proc. IWQO (pp. 306–308).
Abstract: В работе были измерены толщины резистов ZEP 520A и ma-N 2400 для электронно-лучевой литографии, неразрушающим способом, а также подобран рецепт, обеспечивающий высокое отношение скорости травления нитрида кремния по сравнению с резистом. Работа имеет практическое значение для электронной литографии интегрально-оптических устройств и устройств нанофотоники на основе нитрида кремния.
|
Елманова, А., Елманов, И., Комракова, С., Голиков, А., Джавадзадэ, Д., Воробьёв, В., et al. (2019). Способ интеграции наноалмазов с нанофотонными устройствами из нитрида кремния. In Proc. IWQO (pp. 309–311).
Abstract: В работе были разработаны оптические структуры из нитрида кремния для дальнейшего размещения на них наноалмазов с NV-центрами, опробованы различные методики нанесения раствора наноалмазов и выбрана оптимальная. Работа имеет практическое значение в области нанофотоники и создании квантово-оптических устройств с однофотонными источниками.
|
Goltsman, G. (2019). Quantum-photonic integrated circuits. In Proc. IWQO (pp. 22–23).
Abstract: We show the design, a history of development as well as the most successful and promising approaches for QPICs realization based on hybrid nanophotonic-superconducting devices, where one of the key elements of such a circuit is a waveguide integrated superconducting single-photon detector (WSSPD). The potential of integration with fluorescent molecules is discussed also.
|
Ryabchun, S., Smirnov, A., Pentin, I., Vakhtomin, Y., Smirnov, K., Kaurova, N., et al. (2011). Superconducting single photon detector integrated with optical cavity. In Proc. MLPLIT (pp. 143–145). Modern laser physics and laser-information technologies for science and manufacture.
|
Maslennikova, A., Larionov, P., Ryabchun, S., Smirnov, A., Pentin, I., Vakhtomin, Y., et al. (2011). Noise equivalent power and dynamic range of NBN hot-electron bolometers. In Proc. MLPLIT (pp. 146–148). Modern laser physics and laser-information technologies for science and manufacture.
|