|
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния |
2019 |
Proc. IWQO |
|
306-308 |
|