| |
Records |
Links |
|
Author |
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
|
| |
Title |
Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния |
Type |
Conference Article |
| |
Year |
2019 |
Publication |
Proc. IWQO |
Abbreviated Journal |
Proc. IWQO |
|
| |
Volume |
|
Issue |
|
Pages |
306-308 |
|
| |
Keywords |
Si3N4, e-beam lithography, EBL |
|
| |
Abstract  |
В работе были измерены толщины резистов ZEP 520A и ma-N 2400 для электронно-лучевой литографии, неразрушающим способом, а также подобран рецепт, обеспечивающий высокое отношение скорости травления нитрида кремния по сравнению с резистом. Работа имеет практическое значение для электронной литографии интегрально-оптических устройств и устройств нанофотоники на основе нитрида кремния. |
|
| |
Address |
|
|
| |
Corporate Author |
|
Thesis |
|
|
| |
Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
|
| |
Language |
|
Summary Language |
|
Original Title |
|
|
| |
Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
|
| |
Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
|
| |
ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
|
| |
Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
|
| |
Notes |
Duplicated as 1189 |
Approved |
no |
|
| |
Call Number |
|
Serial |
1284 |
|
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
|
Author |
Проходцов, А. И.; Голиков, А. Д.; Ан, П. П.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
|
| |
Title |
Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния |
Type |
Conference Article |
| |
Year |
2019 |
Publication |
Proc. IWQO |
Abbreviated Journal |
Proc. IWQO |
|
| |
Volume |
|
Issue |
|
Pages |
201-203 |
|
| |
Keywords |
integrated optics, silicon nitride, focusing grating coupler |
|
| |
Abstract |
В работе экспериментально изучена зависимость эффективности фокусирующего решеточного элемента связи от периода и фактора заполнения до и после напыления верхнего слоя из оксида кремния. Полученные данные имеют практическое значение при создании перестраиваемых интегрально-оптических устройств на нитриде кремния. |
|
| |
Address |
|
|
| |
Corporate Author |
|
Thesis |
|
|
| |
Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
|
| |
Language |
Russian |
Summary Language |
|
Original Title |
|
|
| |
Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
|
| |
Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
|
| |
ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
|
| |
Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
|
| |
Notes |
Duplicated as 1188 |
Approved |
no |
|
| |
Call Number |
|
Serial |
1282 |
|
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
|
Author |
Корнеева, Ю. П.; Трифонов, А. В.; Вахтомин, Ю. Б.; Смирнов, К. В.; Корнеев, А. А.; Рябчун, С. А.; Третьяков, И. В.; Гольцман, Г. Н. |
|
| |
Title |
Расчет согласующего оптического резонатора для сверхпроводникового нанополоскового детектора |
Type |
Journal Article |
| |
Year |
2012 |
Publication |
Преподаватель ХХI век |
Abbreviated Journal |
|
|
| |
Volume |
|
Issue |
3 |
Pages |
225-227 |
|
| |
Keywords |
SSPD, SNSPD |
|
| |
Abstract |
В статье произведен расчет резонатора, предназначенного для согласования сверхпроводникового нанополоскового однофотонного детектора с оптическим сигналом. Показано, что для детектора, выполненного из пленки с типичным сопротивлением квадрата 500 Ом и коэффициентом заполнения 0.5 коэффициент согласования с излучением, поляризованным параллельно полоскам детектора, достигает величины около 60%. |
|
| |
Address |
|
|
| |
Corporate Author |
|
Thesis |
|
|
| |
Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
|
| |
Language |
Russian |
Summary Language |
|
Original Title |
|
|
| |
Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
|
| |
Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
|
| |
ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
|
| |
Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
|
| |
Notes |
|
Approved |
no |
|
| |
Call Number |
|
Serial |
1823 |
|
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
|
Author |
Семенов, А. В.; Корнеев, А. А.; Смирнов, А. В.; Смирнов, К. В.; Ожегов, Р. В.; Окунев, О. В.; Гольцман, Г. Н.; Девятов, И. А. |
|
| |
Title |
Линейные по мощности поглощаемого излучения поправки к спектральным функциям «грязного» сверхпроводника и отклик сверхпроводниковых детекторов |
Type |
Journal Article |
| |
Year |
2012 |
Publication |
Преподаватель ХХI век |
Abbreviated Journal |
|
|
| |
Volume |
|
Issue |
3 |
Pages |
216-220 |
|
| |
Keywords |
dirty superconductor film |
|
| |
Abstract |
В статье развит метод расчета малых поправок к спектральным функциям пленки «грязного» сверхпроводника, возникающих под действием поглощаемой мощности электромагнитного излучения. Метод пригоден в случае спектральных функций произвольного вида, что позволяет применять его для расчета отклика сверхпроводниковых детекторов излучения различного типа. |
|
| |
Address |
|
|
| |
Corporate Author |
|
Thesis |
|
|
| |
Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
|
| |
Language |
Russian |
Summary Language |
|
Original Title |
|
|
| |
Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
|
| |
Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
|
| |
ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
|
| |
Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
|
| |
Notes |
|
Approved |
no |
|
| |
Call Number |
|
Serial |
1822 |
|
| Permanent link to this record |
| |
|
| |
|
Author |
Семенов, А. В.; Корнеев, А. А.; Лобанов, Ю. В.; Корнеева, Ю. П.; Рябчун, С. А.; Третьяков, И. В.; Флоря, И. Н.; Смирнов, А. В.; Ковалюк, В. В.; Смирнов, К. В.; Гольцман, Г. Н. |
|
| |
Title |
Оценка поляризационных искажений, вносимых оптической системой радиотелескопа миллиметрового диапазона |
Type |
Journal Article |
| |
Year |
2012 |
Publication |
Преподаватель ХХI век |
Abbreviated Journal |
|
|
| |
Volume |
|
Issue |
4 |
Pages |
230-236 |
|
| |
Keywords |
millimeter radio telescope |
|
| |
Abstract |
В статье рассмотрена поляризация электромагнитного поля вблизи фокальной точки телескопической системы. Оценена верхняя граница поляризационных искажений, вносимых отражающими поверхностями, в том числе с учетом неидеальности отражения. |
|
| |
Address |
|
|
| |
Corporate Author |
|
Thesis |
|
|
| |
Publisher |
|
Place of Publication |
|
Editor |
|
|
| |
Language |
Russian |
Summary Language |
|
Original Title |
|
|
| |
Series Editor |
|
Series Title |
|
Abbreviated Series Title |
|
|
| |
Series Volume |
|
Series Issue |
|
Edition |
|
|
| |
ISSN |
|
ISBN |
|
Medium |
|
|
| |
Area |
|
Expedition |
|
Conference |
|
|
| |
Notes |
|
Approved |
no |
|
| |
Call Number |
|
Serial |
1821 |
|
| Permanent link to this record |
