| |
Author  |
Title |
Year |
Publication |
Volume |
Pages |
Links |
|
|
Елманов, И. А.; Елманова, А. В.; Голиков, А. Д.; Комракова, С. А.; Каурова, Н. С.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния |
2019 |
Proc. IWQO |
|
306-308 |
|
|
|
Елманова, А.; Елманов, И.; Комракова, С.; Голиков, А.; Джавадзадэ, Д.; Воробьёв, В.; Большедворский, С.; Сошенко, В.; Акимов, А.; Ковалюк, В.; Гольцман, Г. |
Способ интеграции наноалмазов с нанофотонными устройствами из нитрида кремния |
2019 |
Proc. IWQO |
|
309-311 |
|
|
|
Проходцов, А. И.; Голиков, А. Д.; Ан, П. П.; Ковалюк, В. В.; Гольцман, Г. Н. |
Влияние покрытия из оксида кремния на эффективность фокусирующего решеточного элемента связи из нитрида кремния |
2019 |
Proc. IWQO |
|
201-203 |
|
