Komrakova, S., Kovalyuk, V., An, P., Golikov, A., Rybin, M., Obraztsova, E., et al. (2020). Effective absorption coefficient of a graphene atop of silicon nitride nanophotonic circuit. In J. Phys.: Conf. Ser. (Vol. 1695, 012135).
Abstract: In this paper, we demonstrate the results of a study of the optical absorption properties of graphene integrated with silicon nitride O-ring resonator. We fabricated an array of O-ring resonators with different graphene coverage area atop. By measuring the transmission spectra of nanophotonic devices with and without graphene, we calculated the effective absorption coefficient of the graphene on a rib silicon nitride waveguide.
|
Tretyakov, I., Shurakov, A., Perepelitsa, A., Kaurova, N., Svyatodukh, S., Zilberley, T., et al. (2019). Silicon room temperature IR detectors coated with Ag2S quantum dots. In Proc. IWQO (pp. 369–371).
Abstract: For decades silicon has been the chief technological semiconducting material of modern microelectronics. Application of silicon detectors in optoelectronic devices are limited to the visible and near infrared ranges, due to their transparency for radiation with a wavelength higher than 1.1 μm. The expansion Si absorption towards longer wave lengths is a considerable interest to optoelectronic applications. In this work we present an elegant and effective solution to this problem using Ag2S quantum dots, creating impurity states in Si to cause sub-band gap photon absorption. The sensitivity of room temperature zero-bias Si_Ag2S detectors, which we obtained is 1011 cmHzW . Given the variety of QDs parameters such as: material, dimensions, our results open a path towards the future study and development of Si detectors for technological applications.
|
Elmanova, A., An, P., Kovalyuk, V., Golikov, A., Elmanov, I., & Goltsman, G. (2020). Study of silicon nitride O-ring resonator for gas-sensing applications. In J. Phys.: Conf. Ser. (Vol. 1695, 012124).
Abstract: In this work, we experimentally studied the influence of different gaseous surroundings on silicon nitride O-ring resonator transmission. We compared the obtained results with numerical calculations and theoretical analysis and found a good agreement between them. Our results have a great potential for gas sensing applications, where a compact footprint and high efficiency are desired simultaneously.
|
Елманов, И. А., Елманова, А. В., Голиков, А. Д., Комракова, С. А., Каурова, Н. С., Ковалюк, В. В., et al. (2019). Способ определения параметров резистов для электронной литографии фотонных интегральных схем на платформе нитрида кремния. In Proc. IWQO (pp. 306–308).
Abstract: В работе были измерены толщины резистов ZEP 520A и ma-N 2400 для электронно-лучевой литографии, неразрушающим способом, а также подобран рецепт, обеспечивающий высокое отношение скорости травления нитрида кремния по сравнению с резистом. Работа имеет практическое значение для электронной литографии интегрально-оптических устройств и устройств нанофотоники на основе нитрида кремния.
|
Гершензон, Е. М., Семенов, И. Т., & Фогельсон, М. С. (1984). О механизме динамического сужения линии ЭПР доноров фосфора в кремнии. Физика и техника полупроводников, 18(3), 421–425.
Abstract: Температурная зависимость ширины линии ЭПР доноров Р в Si исследована в интервале концентрации ND=2.5⋅1017−9⋅1017см−3 и температур T=1.7−45 K на образцах с различной степенью компенсации основной примеси. Результаты согласуются с моделью обменного сужения линии при учете температурной зависимости обменного интеграла и тем самым исключают предлагавшийся ранее механизм сужения линии вследствие прыжкового движения электронов по примесным центрам.
|
